国产精品对白交换视频_在线精品福利_小雪奶水翁胀公吸小说_看黄色录像一级片_3级毛片儿日本三级毛片_青青激情视频

全部新聞 公司新聞 產品新聞 資料下載 行業新聞
中科院微電子所先導中心朱慧瓏研究員課題組--世界上首個具有自對準柵極的疊層垂直納米環柵晶體管的實現
世界上首個具有自對準柵極的疊層垂直納米環柵晶體管的實現

       從Intel首發22nm FinFET工藝之后,全球主要的半導體廠商在22/16/14nm節點開始啟用FinFET鰭式晶體管,目前全球最先進的半導體工藝已經進入7nm,下一步還要進入5nm、3nm節點,制造難度越來越大,其中晶體管結構的限制至關重要,未來的工藝需要新型晶體管。三星在去年率先宣布3nm節點改用GAA環繞柵極晶體管。基于全新的GAA晶體管結構,三星通過使用納米片設備制造出了MBCFET(Multi-Bridge-Channel FET,多橋-通道場效應管),該技術可以顯著增強晶體管性能,主要取代FinFET晶體管技術。基于上述信息也可以看出GAA環繞柵極晶體管的重要意義。這里,朱慧瓏課題組系統地研發了一種原子層選擇性刻蝕鍺硅的方法,結合多層外延生長技術將此方法用于鍺硅/硅超晶格疊層的選擇性刻蝕,從而精確地控制納米晶體管溝道尺寸和有效柵長,首次實現了垂直納米環柵晶體管的自對準高k金屬柵后柵工藝。其集成工藝與主流先進CMOS制程兼容。所獲得的柵長約60 nm,納米片厚度20 nm的p型VSAFET。原型器件的SS、DIBL和電流開關比(Ion/Ioff)分別為86 mV/dec、40 mV和1.8x105。

Figure 1. VSAFETs的工藝流程。(a)Si/SiGe/Si之后的SEM圖,(b)RIE之后的3D結構SEM圖,(c)qALE之后的SEM圖,(d)HKMG沉積后的TEM圖。


Figure 2. VSAFETs的原理示意圖。(a)單個裝置的結構設計,(b)兩個裝置串聯連接的的測試結構。


Figure 3. 配有包覆HKMG的VSAFETs的STEM頂視圖。(a)方形橫截面納米線,(b)圓形橫截面納米線,(c)納米片。


Figure 4.柵極金屬在活性離子刻蝕后(RIE),(a)VSAFETs的SEM圖:納米片裝置的HKMG和(b)與柵極的局部連接。


Figure 5.(a)pVSAFETs器件的結構和I-V特性,(a)轉移特性曲線和(b)輸出特性曲線。
      該研究工作由中科院微電子所先導中心朱慧瓏研究員課題組于2019年發表在國際微電子器件領域的頂級期刊《IEEE Electron Device Letters》上。原文:Vertical Sandwich Gate-All-Around Field-Effect Transistors with Self-Aligned High-k Metal Gates and Small Effective-Gate-Length Variatio(DOI: 10.1109/LED.2019.2954537)
您的稱呼 :
聯系電話 :
您的郵箱 :
咨詢內容 :
 
石墨烯系列產品 石墨烯薄膜 石墨類產品 分子篩類產品 碳納米管和其他納米管系列 活性炭及介孔碳系列產品 吉倉代理進口產品/國產產品 包裝盒類 改性高分子類及其導電添加劑 納米顆粒/微米顆粒 富勒烯類產品 化學試劑及生物試劑類 MXenes材料 量子點 金剛石類 納米化合物及稀土氧化物 石墨烯設備及其材料 鋰電池導電劑類 外接修飾分子偶聯服務 委托開發服務 微電子產品 石墨烯及納米材料檢測業務 石墨烯檢測設備 納米線類/納米棒類 實驗室耗材類 鈣鈦礦材料(OLED) 導熱硅膠片
公司新聞 產品新聞 行業新聞 資料下載
主站蜘蛛池模板: 超国产女人高潮a片免费视频_91免费视频播放_狠狠综合久久综合88亚洲爱文_国产精品久久人妻无码免费看_www.com色_少妇借种高潮了_久久久久亚洲AV成人无码_大尺度吃奶摸下激烈视频 | 19禁国产精品福利视频_www黄在线观看_日韩av无码久久一区二区_97超碰国产在线_中文字幕.亚洲无码日_成人免费无码A毛片_青青草在久久免费久久免费_国产午夜性春猛交ⅹxxx | 人间精品视频在线播放_av免费网站大全_国产精品久久久久久久久久久杏吧_男人和女人做爽爽视频_精品无人乱码一区二区三区_久久精品国产亚洲av香蕉_亚洲男人的天堂视频_国产欧美一区二区精品老汉影院 | 一区国产视频_欲求不满的哺乳期人妻_大地资源高清在线观看剧情_国产精品久久人妻无码HD毛片_国产大学生毛片_欧美区国产_色中文字幕_爆操妹子视频在线观看 | 超薄丝袜足J好爽在线观看_欧美成人一区亚洲一区_亚洲AV高清一区二区三区尤物_天堂一区二区mv在线观看_麻豆视传媒官网免费观看_日韩欧美视频免费_1024国产在线在线视频_AV无码中文字幕不卡一区二区三区 | 综合第一页_欧美大色视频在线观看_91天堂在线_欧州一级特黄视频无码_亚洲一区二区三区无码国产_97SE亚洲国产综合自在线不卡_亚洲福利视频52_最近新中文字幕大全高清 | 黄视频在线观看视频_美女一级黄色_亚洲欧美成人综合_91精品国产自产在线观看_99精品视频国产精品_色视频网站在线_国产男男被猛男躁免费视频_99热精品在线观看 | 伊人思思_亚洲精品无码久久_中文字幕成人在线视频_国产精品免费视频软件_在线观看91免费视频_婷婷激情综合色五月久久竹菊影视_手机看日韩片_日韩视频成人 | 久久九九精品久久_性欧美精品一区二区三区在线播放_极品美女色视频网站大片_国产精品无码一区二区在线观动漫_少妇大叫太大太深受不了_欧美熟妇另类久久久久久不卡_毛片一级a_91九色影院 | 成人片黄网站色大片免费_精品久久久久久国产潘金莲_伊人av影院_日韩一卡2卡3卡4卡乱码免费网站_在线亚洲精品国产二区图片欧美_不卡一区2区_爱逼综合_九色精品视频 | 91少妇丨porny丨_中文字幕av一区二区_亚洲精品视频三区_骚妇内射中岀群交_欧美久久大片_欧美日本日韩aⅴ在线视频_国产91久久久久蜜臀青青天草二_97色伦婷婷综合色情网 | 久久久久久久久久久久久国产精品_日韩国产三区_色日本视频_欧美日韩亚洲不卡_最新国模无码国产在线视频_亚洲人成网站18禁止无码_亚洲激情免费视频_久久精品呦女 四虎免费观看_日韩在线91_国产观看99_91婷婷射_亚洲精选中文字幕_色yeye高清在线视频_亚洲日韩成人无码不卡_一区二区三区日韩视频 | 免费国产一区二区三区_91影视看片_人妻中出无码一区二区三区_欧美色人_精品一区中文字幕_色香蕉成人二区免费_浮生影院观看免费_青青在线视频免费 | 欧美大片a片免费看视频频_麻豆精品影院_国产精品手机视频一区二区_久久懂色精品99综一区合_久久综合干_国产在线视频不卡二_国产天堂久久综合_79av国产 | 亚洲天堂一区在线_国产精品亚洲精品久久挡不住_日本成本人片免费高清在线观看_免费看α片_国产AV丝袜美腿丝袜_激情视频久久_国产视频日韩_日本九九视频 | 亚洲欧美日韩中文字幕二_日产精品久久久久久久_国产一区二区三区高清_国产一级a不收费_亚洲AV无码第一区二区三区_懂色av粉嫩av蜜臀av_国产午夜理论不卡在线观看_天天射色综合 | 亚洲国产一区在线_日韩久久久一区二区_99久久国产综合精品五月天_h视频在线观看网站_91精品啪在线观看国产日本_不卡无在线一区二区三区_亚洲色WWW永久网站_毛片在线看看 | www.日韩av_日韩日日操_国产免费又色又爽又黄又猛小说_日本在线一级_亚洲国产一区二区a毛片_亚洲成人综合视频_国产成人av三级在线播放_免费在线观看www | 久久婷婷五月综合色一区二区_com毛片_黄色亚洲精品_www成人在线_超级碰人人干_91久久国语露脸精品国产高跟_91精品啪在线观看_天天狠天天透天天伊人 | 一区在线播放视频_天堂网色_日韩国产网站_国产国语一级A毛片高清视频_色777狠狠综合秋免鲁丝_免费特级黄色片_久久亚洲第一_caoporn国产免费 | 一色屋精品视频在线观看_国产精品视频黄色_亚洲三级国产_激情午夜网_久久综合色占_精品av_欧美在线成人影院_精品国产乱码久久久久久久软件 | 精品国产制服丝袜高跟_男人的天堂中文字幕熟女人妻_av片免费在线播放_人人爱天天做夜夜爽_国产午夜AAA片无码无片久久_国产黄色一级片视频_久久亚洲国产精品123区_丁香激情综合久久伊人久久 | 久草香蕉在线_亚洲免费成人av_男人女人一边躁一边爽视频_日韩亚洲一区在线播放_欧美一区二区小视频_日本午夜片_欧美精品国产综合久久_国产黄色A一片免费看 | 午夜精品久久久内射近拍高清_三级久久久久久久久高潮_在线免费观看av网址_免费国产在线观看_日本熟妇中文字幕三级_国产免费让你躁在线视频_奇米视频888_麻豆午夜影院 | 久久精品无码一区二区小草_国产精品一区二区三区在线观_色五月最新网址_h免费看_一a本v道久久_国产日日操_亚洲无线观看国产高清_日本三级黄色录像 | 国产影视一区_亚洲av永久无码偷拍另类_日韩在线免费观看av_九色九一_亚1州区2区3区4区产品乱码2021_亚洲精品成人网站在线观看_国产乱人对白_亚洲国产精品一区二区999 | 国产乱了_日韩欧美xxxxx_国产精品成人扳一级aa毛片_韩国一级无码免费精品视频_老师办公室被吃奶好爽在线观看_日本3级视频_啦啦啦中文在线观看日本_奇米影视7777久久精品人人爽 | 中文无码热在线视频_美景之屋3在线观看_wwww.xxxx免费_国产精品青草综合久久久久99_久久亚洲粉嫩高潮的18p_国产香蕉久久_欧美精品在线播放_国产福利姬精品福利资源网址 | 欧美午夜网站_日本韩国欧美_999亚洲欲妇_日本xxxx丰满老妇_淫片一级国产_在线观看黄色免费网站_国产美女在线精品免费观看_国产精品国产午夜免费看福利 | 日本aⅴ视频_亚洲中文字幕在线无码一区二区_免费xxx视频_久久综合免费视频_蜜桃人妻无码AV天堂三区_又粗又紧又湿又爽的免费视频_国内精品成人_亚洲网在线 | 91在线观_四虎私人影院_自拍偷拍3p_mm1313午夜视频_视频在线三区_亚洲免费资源_香蕉乱码成人久久天堂爱免费_国产真人真事毛片视频 | 狠狠干黄色_丝袜视频一区二区三区_www成人免费视频_国产精品免费视频网站_大香伊蕉中文字幕_91色交_日韩1区2区_国产熟睡乱子伦午夜视频麻豆 | 国产精品影音_国产一级做a爰片在线看免费_老头把我添高潮了A片_午夜神器成在线人成在线人_亚洲精品中文字幕日本久久久_天天操天天谢_九色视频人porny_91久久久久久久国产欧美日韩- | 91lu在线观看_欧美一级在线播放_国产99爱在线视频免费观看_中出しハイビジョン黑人_久久精品极品_亚洲黄色片网站_www.av蜜桃_免费一级淫片日本高清视频一 | 国产无遮挡一区二区三区_久久丝袜美腿_久久人人爽人人人澡A片_成人爱做日本视频免费_亚洲天堂2021av_久久成人18免费网站_91九色夫妻_欧美日韩成人在线播放 | 日本亚洲9999aⅴ_亚洲欧美99_欧美嫩交一区二区三区_亚洲成人免费网站_日本三级视频在线观看_免费黄色一级片_国产无人区卡一卡二卡三乱码_亚洲精品成人久久一区二区 | h文纯肉教室啪啪_国产精品久久毛片_色网在线免费观看_国产视频一区二区在线_国内av一区_亚洲一区二区三区综合_www.色五月_中国精品18videosex性中国 | 亚洲性色av日韩在线观看_国产成人精品无码片区在线观看_国产精品操女人_av官网在线播放_国产内射露脸在线观看_久久2018_日韩97_国产精品毛片久久久久久久av | 国产精品久久久久国产精品三级_免费观看老乱熟视频_日韩精品在线视频观看_天海翼精品一区二区三区_亚洲一线视频_四虎伊人_国内精品小视频_人妻出轨和黑人疯狂做国产人 国产精品国产三级国产av′_www国产精品_www.精品视频_奇米在线7777在线精品_性生交裸片免费看_91爱观看在线_夜夜草影院_中文字幕亚洲日本 | 亚洲性色av日韩在线观看_国产成人精品无码片区在线观看_国产精品操女人_av官网在线播放_国产内射露脸在线观看_久久2018_日韩97_国产精品毛片久久久久久久av | 日本成熟少妇a片免费观看_精品嫩模福利一区二区蜜臀_www.久久爱69.com_国产亚洲AV在线_国产亚av手机在线观看_精品一级视频_黄色一级毛片a_欧美大胆a视频 |