国产精品对白交换视频_在线精品福利_小雪奶水翁胀公吸小说_看黄色录像一级片_3级毛片儿日本三级毛片_青青激情视频

全部新聞 公司新聞 產(chǎn)品新聞 資料下載 行業(yè)新聞
中國航發(fā)北京航空材料研究院航空材料先進(jìn)腐蝕與防護(hù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室Na Li等--射頻等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積過程中在受控氣氛下石墨烯的成核和生長
       等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法(PECVD)由于其生長溫度低、節(jié)能和原位生長等優(yōu)點(diǎn),成為一種極具潛力的工業(yè)合成石墨烯的方法。與傳統(tǒng)的熱化學(xué)氣相沉積(TCVD)不同,PECVD通常利用等離子體對烴類前驅(qū)體解離的促進(jìn)石墨烯快速成核長大,導(dǎo)致石墨烯的成核密度顯著提高,晶粒尺寸變小,降低了其電性能。了解和控制PECVD過程中石墨烯的成核和生長對制備高質(zhì)量石墨烯具有重要意義。在本研究中,我們注意到石墨烯的成核密度和晶粒尺寸受到各種大氣條件的顯著影響,包括Ar流量、H2/CH4比值和氣壓。特別是H2/CH4比值較高時(shí),受H2等離子體的影響,成核密度明顯降低,晶粒尺寸增大。此外,我們通過測量活化能,研究了不同壓力下石墨烯的成核密度、晶粒尺寸和生長速率的能量,證明了低壓力、高生長溫度可以生長出低形核、大晶粒尺寸的石墨烯。
 
 
圖1. (a)PECVD器件原理圖,(b)PECVD和TCVD生長過程示意圖,(c)未預(yù)處理的銅和(d)電化學(xué)拋光銅的三維形貌AFM圖像。
 
 
圖2. 不同Ar流量下用PECVD法在銅表面的石墨烯生長成核。(a)無Ar,(b) 20 sccm Ar, (c) 40 sccn Ar和(d) 60 sccm。其他生長條件如下: 1.9 V時(shí)銅經(jīng)電化學(xué)拋光預(yù)處理5分鐘,生長溫度為850℃, 壓力為46 Pa,等離子體功率為50 W, CH4流量為0.2 sccm,H2流量為8 sccm和生長時(shí)間為30s。比例尺為1μm。
 
 
圖3. 不同H2流量下用PECVD法的石墨烯在銅表面的成核。(a) 0 sccm,(b) 2 sccm,(c) 4 sccm,(d) 6 sccm,(e) 8 sccm及(f)10 sccm。其他生長條件為: 1.9 V時(shí)銅經(jīng)電化學(xué)拋光預(yù)處理5分鐘、生長溫度850℃、壓力為46 Pa、等離子體功率為50 W、CH4流量為0.2 sccm,Ar流量為20 sccm和生長時(shí)間為30s。比例尺為1μm。
 
 
圖4. (a)不同H2流量下用PECVD法在銅表面生長的石墨烯的形核密度和平均晶粒尺寸曲線。(b)石墨烯轉(zhuǎn)移到SiO2/Si,H2流量為40sccm, 60s。比例尺為2μm。不同H2流量下生長60 s石墨烯的(c)拉曼光譜和(d)ID/IG和I2D/IG比值。
 
 
圖5. (a)和(b)低H2/CH4條件下PECVD法在銅表面生長石墨烯;比例尺為1μm和200 nm。(c,d) (a)中石墨烯生長后H2等離子體刻蝕,比例尺為1μm和500 nm。
 
 
圖6. PECVD過程中H2蝕刻效應(yīng)示意圖。
 
 
圖7. 在PECVD過程中,在不同壓力和不同生長時(shí)間下,石墨烯在銅表面的成核和生長。(a)~(c)25 Pa, (d)~(f) 46 Pa, (h)~(j) 90 Pa。其他生長條件為: 1.9 V時(shí)銅經(jīng)電化學(xué)拋光預(yù)處理5分鐘、生長溫度850℃、等離子體功率為50 W、H2流量為8 sccm、CH4流量為0.2 sccm、Ar流量為20 sccm以及生長時(shí)間為30s、40s和50s。比例尺為1μm。
 
 
圖8.不同壓力下PECVD中石墨烯在銅表面生長的(a)成核密度,(b)疇尺寸平均值,(c)覆蓋面積,(d)疇大小分布。
 
 
圖9. 石墨烯在PECVD過程中不同壓力下的生長速率。
 
 
圖10. 石墨烯在不同壓力、不同溫度下的成核和生長。比例尺為1μm。
 
 
圖11. PECVD法生長的石墨烯的(a)形核密度、(b)晶粒尺寸和(c)生長速率的Alrhenius圖。(黑色和紅色符號分別代表壓力為25Pa和46 Pa)。

       相關(guān)研究成果由中國航發(fā)北京航空材料研究院航空材料先進(jìn)腐蝕與防護(hù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室Na Li等人于2021年發(fā)表在Vacuum (https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2021.110750)上。原文:The nucleation and growth of graphene under a controlled atmosphere during radio frequency-plasma-enhanced chemical vapor deposition。

轉(zhuǎn)自《石墨烯研究》公眾號

您的稱呼 :
聯(lián)系電話 :
您的郵箱 :
咨詢內(nèi)容 :
 
石墨烯系列產(chǎn)品 石墨烯薄膜 石墨類產(chǎn)品 分子篩類產(chǎn)品 碳納米管和其他納米管系列 活性炭及介孔碳系列產(chǎn)品 吉倉代理進(jìn)口產(chǎn)品/國產(chǎn)產(chǎn)品 包裝盒類 改性高分子類及其導(dǎo)電添加劑 納米顆粒/微米顆粒 富勒烯類產(chǎn)品 化學(xué)試劑及生物試劑類 MXenes材料 量子點(diǎn) 金剛石類 納米化合物及稀土氧化物 石墨烯設(shè)備及其材料 鋰電池導(dǎo)電劑類 外接修飾分子偶聯(lián)服務(wù) 委托開發(fā)服務(wù) 微電子產(chǎn)品 石墨烯及納米材料檢測業(yè)務(wù) 石墨烯檢測設(shè)備 納米線類/納米棒類 實(shí)驗(yàn)室耗材類 鈣鈦礦材料(OLED) 導(dǎo)熱硅膠片
公司新聞 產(chǎn)品新聞 行業(yè)新聞 資料下載
主站蜘蛛池模板: 四色永久网址在线观看_首页国产欧美日韩丝袜_国产丝袜视频一区二区三区_青青国产在线_欧美一a一片一级一片_国产午夜精品视频免费不卡69堂_亚洲伊人一本大道中文字幕_中字一区 | 丁香婷婷六月综合交清_素人视频在线观看免费_亚洲精品国精品久久99热一_亚洲AV无码无在线观看_亚洲AV无码片一区二区三区_任你操免费视频_亚洲av日韩av天堂久久_色欲天天婬色婬香视频综合网 | 成人黄色激情视频网站_国产亚洲精品younv_亚洲美女网站_国产一级淫_国产精品videossex_亚洲老司机av_麻豆影视大全_成人动漫入口 | av黄色免费看_aⅴ中文字幕不卡在线无码_我不卡一区二区_欧美日韩一区二区三区高清_最近免费中文字幕中文高清6_日本色老头_99久久国语露脸精品对白_最美女人体内射精一区二区 | 亚洲成AⅤ人影院在线欢看_亚洲国产成人精品无码区宅男?_97国产最新_在线视频97_无码精品国产VA在线观看DVD_青青视频网_一区二区日本视频_国产精品久久久一区 | 中国老熟妇XXXXX_av日韩免费在线观看_91精品国产自产91精品_国产一级性生活_无码午夜人妻一区二区不卡视频_97超爽成人免费视频在线播放_中文字幕在线观看视频一区_国产成人综合av | 国内精品久久人妻朋友_制服视频在线一区二区_中国人妻被两个老外三p_衣服被扒开强摸双乳18禁网站_超碰在线最新_色av色_久久久久亚洲精品成人网小说_av超碰在线 | 午夜毛片视频_美女裸身裸乳视频网站_av成人永久免费看片本色_第一福利网站_xxxav在线_免费看男人操女人_国产精品麻豆99久久久久久_亚洲国产视 | 性欢交69精品久久久_欧美久久久久高潮不断_免费人成网站在线观看欧美_丁香啪啪综合成人亚洲_亚洲国产欧美一区_a欧美在线_av在线播放免费观看_野外做受三级视频 | 91伦理视频在线观看_欧美爆乳乱妇高清免费_av无码av无码专区_国产一级做a爰片久久毛片男_日韩爱爱_台湾亚洲精品一区二区tv_国产无内肉丝精品视频_91精品国产综合久久久久蜜臀 | 成人99一区二区激情免费看_中文字幕乱老妇女一视频_久久网站视频_天天摸夜夜添久久精品_日本深夜福利视频_亚洲日本精品一区二区三区_高h视频在线免费观看_88av导航 | 手机久草视频分类在线观看_国产高清不卡_亚洲AV无码AV制服另类专区_亚洲在线第一区_国产熟妇高潮呻吟喷水_成人欧美视频_亚洲日韩视频免费观看_国模无码人体一区二区 | 久久久久亚洲av无码专区蜜芽_91插插影院_av高清一区二区_一区二区a视频_国产精品亚洲LV粉色_麻豆av网_久久久99日产_a级毛片特级毛片 | 班花在教室伦流澡到高潮视频_国产精选91热在线观看_黑人一级大片_蜜臀传媒_红杏出墙记_最近免费观看高清韩国日本大全_亚洲日韩精品无码专区网站_人妻丝袜av先锋影音先 | 亚洲激情91_久久久久高潮综合影院_妓女av导航福利_把女邻居弄到潮喷的性经历_国产人成免费视频_国产亚洲成AⅤ人片在线观看不卡_日本免费a级片_亚洲人人在线 | aaaaaaa片毛片免费观看_www欧美在线观看_亚洲欧美一区二区三区综合_jizzjizzjizz日本老师_熟女人妇成熟妇女系列视频_中文字幕精品一区二区精品_日本高清免费视频m免费_91综合久久久久婷婷 | 99视频内射三四_禁忌的恋爱关系在线观看_亚洲成年_91精品啪在线观看国产_久久精品99久久香蕉国产色戒_午夜影院黄色一级片_亚洲AV成人无码网站18禁_黄色片免费大全 | A天堂最新版在线中文_亚洲永久免费视频_精品一区二区三人妻视频_丁香五月网久久综合_网站一级片_男人用嘴添女人私密视频软件_久久不射国产精品_国产精品久久久久99 | 高清?日韩?欧?亚_无码做爰视频WWW网站建设_亚洲av性色在线观看_成人午夜影片_秋霞在线午夜_国产矿转码专一2023_7777奇米成人四色眼影_欧美亚洲另类自拍 | av免费在线网址_国产成人片一区在线观看_久久久久免费看黄a毛片肥婆_色婷婷色综合激情国产日韩_在线欧美小视频_丁香少妇激情啪啪_午夜激情在线视频_美女和帅哥在床上 | 午夜精品影院_中文JAPANESE在线播放_精品三级_林深见鹿40集高清免费观看_国产一级αv片免费观看_青草久久国产_超碰个人97_广西美女色炮150p图 | 国产亚洲视频系列_中文字幕亚洲欧美在线不卡_国产精品成人A片在线果冻_婷婷超碰_日本a级片免费看_XXX国产精品XXX_欧美一级片在线播放_亚洲综合清纯唯美 | 精品国产乱码一区_亚洲AV中文无码乱人伦在线视色_天堂爱爱_久操热久操_国产农村妇女野外牲交视频_亚洲一区午夜_精品综合_国产资源免费在线观看 | 免费毛片网_精品久久久噜噜噜噜久久图片_午夜福利亚洲精品无遮挡_日韩大陆毛片av_99精品影视_奇米四色中文综合久久_国产高清精品无码二区_国产亚洲激情欧美 | 国产精品无码免费专区午夜_日韩三级不卡_女性裸体啪啪网站_91高清免费观看_久久中文骚妇内射_激情综合久久_麻豆精品一区二区综合av_精品人妻无码一区二区三区蜜桃 | 羞羞影院午夜男女爽爽影视_对准肉茎坐下裙子遮住小说_久久爱992xxoo_人人97_亚洲福利视频一区二区三区_他添的我好湿好爽视频_日本免费一级淫片a级中文字幕_欧洲一级黄色毛片 | 亚洲一区AV在线观看_欧美熟妇zozozo_热久久精品国产_日本丰满少妇XXXX_97超碰香蕉_国产日韩欧美视频在线观看_草草视频在线播放_欧美成人午夜免费全部完 | 兔子先生节目在线观看_gogogo高清在线播放韩国_林ゆな中文字幕一区二区_91精品国产91久久久久久不卡_一二三四影视在线观看免费视频_91亚洲日本aⅴ精品一区二区_成人在线午夜视频_国产在线一区二区三区在线观看 | 成人欧美一区二区三区在线_97精品伊人久久大香线蕉_亚洲最大看欧美片网站_不卡的一区二区_极品美女一级片_伊人11_东京热T0KY0综合久久_国产vr在线视频一区二区不卡 | 美女一二三区_香港日本三级在线播放_国产性―交一乱―色―情人_免费伦费一区二区三区四区_欧美亅性猛交内射_8mav在线_无遮挡边吃摸边吃奶边做_美女扒开屁股让男人桶 | 免费无码a片一区二三区_黄视频网站大全_久久福利视频免费观看_国产网站精品_免费看内射乌克兰女_日产精品99久久久久久_国产高清国产精品国产专区_久久mv成人精品亚洲动漫 | 国产精品国产精品国产专区不卡_欧美精品人人做人人爱视频_aa亚洲一区一区三区_一级黄色片在线播放_av中文精品无码在线不卡_在线中文日韩_日韩免费_久久久精品美女 | 最爱高潮全过程免费的视频_日韩免费无码不卡夜夜爽_国产乱子伦一区二区三区国色天香_日日操天天操_中文久久久久久_91欧美激情一区二区三区成人_男男做喘息gv奶白小受动图_国产三及片网站 狠狠搞综合_国产精品欧美亚洲制服_久久久性视频_国产调教性奴在线观看w_狠狠色婷婷久久一区二区三区麻豆_www.青青草_超碰在线资源站_草在线免费观看 | 国产一级一级特黄女人精品毛片_久久精品一区二区视频_久久久久久久国产毛片_孩交精品乱子片_亚洲欧美一区二区三区视频_国产成人久久一区二区三区_人妖av_边做边爱边吃奶叫床的视频 | 午夜毛片视频_美女裸身裸乳视频网站_av成人永久免费看片本色_第一福利网站_xxxav在线_免费看男人操女人_国产精品麻豆99久久久久久_亚洲国产视 | 四虎网站入口_亚洲人成久久婷婷精品五码_一本一道久久久a久久久精品91_色播亚洲_成年女人免费碰碰视频_久久国产噜噜亚洲AV_三级理论中文字幕在线播放_日日碰狠狠添天天爽不卡 | 最好看的中文在线观看_午夜入口_精品久久久久久久久中文字幕_免费看黄色片视频_道日本一本草久_老司机在线观看福利_国产毛片精品久久_久操视频在线免费观看 | 明星angelababy造梦视频_欧美影音_91婷婷综合一区二区三区久久_亚洲AV日韩AV高潮潮喷无码_俄罗斯VIDEODESXO极品_影视一区_国产免费又色又爽又黄软件_狠狠躁天天躁无码中文字幕图 | 饥渴少妇与三个黑人互动_91插插插插插插_国产ZZJJZZJJ视频全免费_亚洲精品1234_日韩欧美在线影院_日韩欧美中出_亚洲综合色网站_av中文字幕网免费观看 | 日本视频在线免费观看_性一交一乱一乱一视频_99国产这里只有精品视频播放_奇米视频在线_免费黄看片_女人本色在线观看_久久国产精品久久久久_蜜芽国产尤物AV尤物在线看 | 爱操成人_超碰97公开_国产AV天堂亚洲国产AV麻豆_亚洲综合小视频_a级黄色免费网站_a级毛片免费观看完整_在野外被三个男人躁爽白浆视频_军歌嘹亮在线观看 |